多项选择题
传统的平坦化技术有（）
A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
多项选择题 金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
多项选择题 铝的电迁移可能导致的结果是（）
多项选择题 影响显影工艺的因素有（）。
