多项选择题
铝的电迁移可能导致的结果是（）
A.阳极短路B.阳极断路C.阴极短路D.阴极断路
多项选择题 影响显影工艺的因素有（）。
多项选择题 下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）
多项选择题 根据曝光模式，光制机的种类分为（）。
