多项选择题
影响显影工艺的因素有（）。
A.曝光度B.显影液浓度C.显影方法D.工序的温度和时间容量
多项选择题 下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）
多项选择题 根据曝光模式，光制机的种类分为（）。
多项选择题 刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）
