问答题
试分析如何减少绝缘膜的针孔及工业上采用的方法。
一般采用多层薄膜叠加的栅绝缘膜，还有许多采用连续生长的办法。还有在两层绝缘膜之间加清洗的方法。
问答题 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。
问答题 试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点。
问答题 源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo，试分析上下层Mo的作用。
