单项选择题
一般情况下，刻蚀完成后需要进行的操作是（）
A.曝光B.涂胶C.去胶D.显影
多项选择题 最常用的砷化橡的湿法刻蚀腐蚀液包括（）
多项选择题 回态源扩散的杂质源有（）
多项选择题 在离子注入完成后，检验到硅片表面有颗粒污染严重的情况，该情况引起的主要问题有（）
