单项选择题 X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。

判断题 利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。

多项选择题 制备好的溶胶可通过（）方法实现成膜。