多项选择题
下列可能造成离子源沾污的因素是（）
A.离子源是否被沾污B.真空系统是否漏气C.原材料是否满足纯度要求D.光刻胶的碱性元素沾污
多项选择题 离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
多项选择题 传统的平坦化技术有（）
多项选择题 金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
