多项选择题
离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
多项选择题 传统的平坦化技术有（）
多项选择题 金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
多项选择题 铝的电迁移可能导致的结果是（）
