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直拉单晶硅工艺学

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填空题

整个单晶硅生长过程中,()的变化过程说明结晶界面的()可能会经历由大于零等于零,变到小于零的过程。

【参考答案】

生长界面;径向温度梯度

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填空题 由于熔体由加热器周围供热,所以一般说来熔体的()总是正数。

填空题 热场的径向温度梯度,包括晶体径向温度梯度,熔体径向温度梯度和()三种径向温度梯度。

填空题 单晶硅生长时,熔体纵向温度梯度较小时,可能会生成(),凝结在()处,使硅单晶发生(),导致晶体生长不稳定。

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