问答题
举例说明各向同性和各向异性刻蚀的特点。
各向同性刻蚀特点是：1）刻蚀后形成圆弧的轮廓；2）在光刻胶下面的图形出现侧蚀现象；3......
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问答题 举例说明PECVD成膜的使用的气体及反应方程。
问答题 简述TFT制作中的各种薄膜采用的成膜方法。
问答题 简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
