问答题
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
连续喷雾显影、旋覆浸没显影。 显影温度,显影时间,显影液量,硅片洗盘,当量浓度,清洗,排风。
问答题 解释光刻胶选择比。要求的比例是高还是低?
问答题 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
问答题 给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么?