填空题
区熔法由于不使用坩埚,污染少,经区熔提纯后生长的()较高,()和()低。
硅单晶纯度;含氧量;含碳量
填空题 一般情况下,直拉法拉制的硅单晶电阻率大于()欧姆•厘米,质量很难控制。
填空题 用直拉法制备硅单晶时,用()插入熔体表面,待与熔体熔接完成后,慢慢向上提拉完成长晶过程。
填空题 用直拉法制备硅单晶时,把()放入(),在硅单晶炉内进行熔化。