问答题
简述低温多晶硅薄膜晶体管特点。
1）高迁移率； 2）容易p型和n型掺杂； 3）自对准结构； 4）抗光干扰能力强； 5）抗电磁干扰能力强。
问答题 举例说明各向同性和各向异性刻蚀的特点。
问答题 举例说明PECVD成膜的使用的气体及反应方程。
问答题 简述TFT制作中的各种薄膜采用的成膜方法。
