多项选择题
关于共振隧穿器件下列哪种说法准确（）
A.器件为量子点结构B.器件功耗较高C.常采用BME制备的超晶格结构D.是基于量子隧穿效应工作的高速器件
判断题 以紫外压印法制备纳米图形，可采用金属模板。
单项选择题 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）
多项选择题 异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）
