判断题
以紫外压印法制备纳米图形，可采用金属模板。
错误(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
单项选择题 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）
多项选择题 异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）
多项选择题 关于ALD下列那种说法正确（）
