问答题

【参考答案】

刻蚀工艺:干法刻蚀和湿法刻蚀。
干法刻蚀是把硅片表面曝露于气态中产生的等离子体,等离子体通过光刻胶中开出的窗口......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)