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单项选择题
坚膜烘焙在加热平板上进行,温度控制在()。
A.100℃~150℃
B.130℃~200℃
C.110~130℃
D.85~120℃ -
单项选择题
在显影过程中,对于正性抗蚀剂,显影液的使用要求是()。
A.显影液可以使用丁酮
B.显影液可以使用甲苯
C.显影液可以使用丙酮
D.显液可以使用甲基异丁基酮和异丙醇的1:1混合液 -
单项选择题
当需要刻蚀的图形尺寸大于3um时,一般使用()。
A.湿法刻蚀
B.溅射刻蚀
C.等离子体刻蚀
D.反应离子刻蚀
