问答题
简答题
为什么说洁净技术是半导体芯片制造过程中的一项重要技术？
【参考答案】
半导体芯片制造，尤其是随着高度集成复杂电路和微波器件的发展，要求获得细线条、高精度、大面积的图形，各种形式的污染都将严重......
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