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单项选择题
器件的横向尺寸控制几乎全由（）来实现。
A.掩膜版
B.扩散
C.光刻 -
单项选择题
反应离子腐蚀是（）。
A.化学刻蚀机理
B.物理刻蚀机理
C.物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合 -
单项选择题
恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。
A.高斯
B.余误差
C.指数
