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多项选择题
最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）
A.硫酸
B.氢氟酸
C.双氧水
D.去离子水 -
单项选择题
（）可以通过带电粒子在盛场作用下做运动把粒子进行筛选，挑选出唯一需要注入的离子。
A.离子源
B.磁分析器
C.加速管
D.终端系统 -
单项选择题
利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）
A.扩散炉
B.离子注入机
C.加热平板
D.对流烘箱
