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多项选择题
以下属于刻蚀环节质量要求的是（）
A.均匀性好
B.图形保真度高
C.选择比低
D.洁净度高 -
多项选择题
最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）
A.硫酸
B.氢氟酸
C.双氧水
D.去离子水 -
单项选择题
（）可以通过带电粒子在盛场作用下做运动把粒子进行筛选，挑选出唯一需要注入的离子。
A.离子源
B.磁分析器
C.加速管
D.终端系统
