问答题
简答题
什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？
【参考答案】
光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合的精密表面加工技术。
对光刻工艺质量的基本要求是：刻蚀的图形完整、尺寸准确、......
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