多项选择题
分结深是重要的结构参数，在检验时发现超浅结注入时，判断其造成原因有（）
A.快速热退火及升温速度和保持时间是否准确B.检查是否有沟道效应C.检查注入能量系统D.检查注入速度和时间是否准确
多项选择题 以下是离子注入过程中的主要参数的是（）
多项选择题 下列可能造成离子源沾污的因素是（）
多项选择题 离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
