多项选择题
以下是离子注入过程中的主要参数的是（）
A.剂量与束流密度B.射程与注入能量C.注入角度D.晶圆
多项选择题 下列可能造成离子源沾污的因素是（）
多项选择题 离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
多项选择题 传统的平坦化技术有（）
