单项选择题 纳米压印技术的加工分辨率与（）有关。

单项选择题 X射线光刻技术与传统光刻技术相比，是通过（）的手段来提高分辨率的。

判断题 利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。