问答题
例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。
1.分滴,当硅片静止或者旋转得非常缓慢时,光刻胶被分滴在硅片上2.旋转铺开,快速加速硅片的旋转到一高的转速使......
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问答题 在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
问答题 例出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。
问答题 解释什么是暗场掩模板?