多项选择题
半导体晶体缺陷主要包括（）
A.微观缺陷 B.宏观缺陷 C.表面机械损伤 D.点阵应变
单项选择题 半导体晶体缺陷中的微观缺陷主要有（）
多项选择题 半导体晶体缺陷中的宏观缺陷主要有（）
多项选择题 半导体硅的常用腐蚀剂主要有（）。
