相关考题
-
多项选择题
根据曝光模式，光制机的种类分为（）。
A.接触式曝光
B.接近式曝光
C.扫描式曝光
D.投影式曝光 -
多项选择题
刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）
A.图形的保真度高
B.选择比越接近1：1越好
C.均匀性好
D.晶圆表面的洁净 -
多项选择题
以下属于刻蚀环节质量要求的是（）
A.均匀性好
B.图形保真度高
C.选择比低
D.洁净度高
