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多项选择题
离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
A.静电扫描
B.机械扫描
C.混合扫描
D.平行扫描 -
多项选择题
传统的平坦化技术有（）
A.反刻法
B.高温回流法
C.旋涂玻璃法
D.化学机械抛光法 -
多项选择题
金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
A.直流溅射
B.射频溅射
C.磁控溅射
D.准直溅射
