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多项选择题
下列可能造成离子源沾污的因素是（）
A.离子源是否被沾污
B.真空系统是否漏气
C.原材料是否满足纯度要求
D.光刻胶的碱性元素沾污 -
多项选择题
离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）
A.静电扫描
B.机械扫描
C.混合扫描
D.平行扫描 -
多项选择题
传统的平坦化技术有（）
A.反刻法
B.高温回流法
C.旋涂玻璃法
D.化学机械抛光法
