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单项选择题
从离子源引出的是：（）
A、原子束
B、分子束
C、中子束
D、离子束 -
单项选择题
离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
A.能量
B.剂量 -
单项选择题
离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
A.能量
B.剂量
